EUV
三星：明年推5/4nm EUV工艺，2020年上马3nm GAA工艺
随着Globalfoundries以及联电退出先进半导体工艺研发、投资，全球有能力研发7nm及以下工艺的半导体公司就只剩下英特尔、台积 ...
材料设备
Entegris新一代光罩盒通过ASML认证 可用于EUV技术生产制程上
微电子产业特种化学品和材料解决方案厂商英特格 （Entegris） 宣布，新一代的光罩盒已获得半导体生产设备商艾司摩尔 （ASML ...
