材料设备 第三代半导体器件制备及评价技术取得突破 以氮化镓(GaN)和碳化硅(SiC)为代表的第三代半导体材料,具备高击穿电场、高热导率、高电子饱和速率及抗强辐射能力等优异 ... 2018-08-31