在先进半导体工艺上,国内最大的晶圆代工厂中芯国际SMIC的14nm工艺已经量产,改进版的 12nm工艺也在导入中,取得了优秀的成绩。
考虑到国内半导体工艺上的落后,光指望中芯国际一家也是不行的,上海华虹集团日前透露其14nm FinFET工艺也全线贯通,SRAM良率已达25%。
华虹方面表示,2019年是华虹集团产能扩张、工艺提升的关键年,该公司多个项目都取得了重要进展:
·作为华虹集团在上海市域以外的第一个制造项目,华虹七厂于9月17日实现顺利投产,首期1万片产能的机台顺利串线并完成一系列工艺验证,进入正常生产阶段,创造了业界同类产线建成投产的最快记录,成为中国大陆第一条12英寸特色工艺产线,也是中国大陆第一条12英寸功率器件代工产线;
·华虹六厂自2018年10月18日投产以来,产能爬坡顺利,目前已经完成月产2万片的装机产能;
·华虹五厂实现连续两年盈利,年度出货量、单日作业量屡创新高;
·华虹宏力8英寸特色工艺制造平台(华虹一、二、三厂)在产能规模、营运效率方面持续保持领先,并连续9年实现盈利。
除了产能建设之外,华虹集团在技术研发上也获得了多项重要突破,尤其是最新一代的工艺,华虹集团总工程师赵宇航指出其14nm FinFET工艺已经全线贯通,SRAM良率25%,2020年将快速推进。
这也是华虹集团首次对外公布14nm工艺的具体良率情况,SRAM芯片的25%良率对生产来说肯定不行,但是对研发、实验来说已经是一大进步。